预计2023年全球集成电路资本开支1466亿美元，假设2023年中国大陆的集成电路资本开支占全球15.5%，环保投入一般为总投入5%，根据《电子工业污染物排放标准》，废气治理占环保投入比例为30%，测算得2023年中国集成电路废气治理系统市场空间约23.9亿元，面板2023年开支约342亿元，市场空间约5.1亿元。

　　根据京仪装备招股书，570 千片/月12英寸晶圆产能对应半导体专用工艺废气处理设备需求约5778 台，平均每单万片产能需要工艺废气处理设备需求100台，京仪装备L/S设备单价为50万元/台。结合晶圆厂扩产判断，经过测算， 2023年大陆废气治理设备空间64亿元。

　　本文节选自华经产业研究院发布的《2022年中国泛半导体废气治理趋势分析，晶圆等支出居高位，国产化替代加速「图」》，如需获取全文内容，可进入华经情报网搜索查看。

　　我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。市场目前由国际供应商主导，主要以Verantis Environmental Solutions Group、天和（上海）半导体制程排气工业有限公司、晃谊科技股份有限公司、KankenTechno、华懋科技股份有限公司为代表。国际供应商具有先进的技术和工艺水平，伴随下游客户产能转移将业务扩展至中国内地，在工艺技术、经验积累、客户资源、品牌影响力等方面具有先发优势。

　　随着国内泛半导体行业的迅速发展，行业内的设备国产化程度也在逐渐提高。废气治理系统和设备作为泛半导体生产工艺不可分割的组成部分，存在大量的国产化需求。盛剑环境集成电路废气治理系统领域市占率达到20%左右，按照处理废气种类，分为酸碱废气处理系统、有毒废气处理系统、VOCs 处理系统、一般排气系统，并可按照废气成分进行综合配置；废气治理设备包括工艺排气管道、中央废气治理设备和泛半导体制程附属设备，数据显示，2021年盛剑环境废气治理系统和设备规模分别为8.37亿元和2.91亿元。

　　我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。而国际供应商拥有先进的技术，与下业中的跨国企业建立了良好合作关系，随着下业在中国内地的发展，国际供应商随之将业务扩展至中国内地。近年随着下业产业投资力度加大，相应的废气治理行业迅速发展，发展出一批拥有完整的设计、生产、服务能力的国内大型供应商。国内少部分大型供应商参与了国内工艺废气治理的源起，积累了丰富经验并拥有相对稳定的优质客户群，目前国内具备竞争核心优势企业包括盛剑环境、京仪装备等。

　　华经产业研究院研究团队使用桌面研究与定量调查、定性分析相结合的方式，全面客观的剖析泛半导体废气治理行业发展的总体市场容量、产业链、经营特性、盈利能力和商业模式等。科学使用SCP模型、SWOT、PEST、回归分析、SPACE矩阵等研究模型与方法综合分析泛半导体废气治理行业市场环境、产业政策、竞争格局、九游娱乐技术革新、市场风险、行业壁垒、机遇以及挑战等相关因素。根据泛半导体废气治理行业的发展轨迹及实践经验，精心研究编制《2025-2031年中国泛半导体废气治理行业市场全景分析及发展趋势预测报告》，为企业、科研、投资机构等单位投资决策、战略规划、产业研究提供重要参考。

　　第十一章 2025-2031年中国泛半导体废气治理未来发展预测及投资前景分析